1进入洁净室的人员应严格执行人身净化制度、路线和程序,任何人不得随意更改。在洁净室内必须按规定着衣、戴帽、换鞋。
2进入洁净级别1万级以及高于万级的洁净区域,必须至少经过二次更衣。可先从一次更衣室进入,进行更鞋、脱外衣、换洁净服、戴口罩、帽子(或洁净头套)后,经过走廊进入二次更衣室,进行二次更衣、更鞋、戴防静电腕带、戴口罩、戴帽子,确认更换完毕后,进入风淋室进行风淋后,才能进入万级以及高于万级的洁净区域。
3严禁不通过风淋而直接走旁通门进入洁净室。旁通门只允许人员出到洁净间外以及发生紧急情况时的进出。
1.风淋室正常初始化自检:打开电源操作面板LED数码显示时间点亮,同时电脑控制器做一次检测,二门是否关闭,有门开着则等待关门,如果二门都关闭则自动进入正常工作状态。
2.正常工作状态
如果系统处于不工作状态:按电源开关键使系统处于工作状态,LED被点亮。
按照明开/关则风淋室灯被点亮或熄灭,人员可根据需要循环选择。系统处于正常等待工作状态时,风淋室的两扇门处于关闭未锁状态。
3.异常状态:喷嘴出现微弱风速、门不能正常关闭或开启、电源操作面板无显示。