如使用整体换气装置则需要大量之换气量,且一般粉尘、熏烟产生之速度及量较大,因此极易局部高浓度之情形,无法以此装置来予以控制。
对于玻璃基板尺寸大于1500mm×1850mm 的TFT-LCD厂房,且洁净生产区人员密度小于0.02人/m2,其疏散距离应按工艺需要确定,但不得大于120m。
1.3洁净厂房的洁净区各层外墙应设置专用消防口,并应符合下列规定:
1 洁净区各层专用消防口的设计,应符合现行国家标准《洁净厂房设计规范》GB 50073的有关规定;
2 洁净厂房外墙上的吊门、电控自动门以及装有栅栏的窗,均不应作为专用消防口。
二、无尘车间地面装修要求
1、无尘厂房装修地面装修极为重要系需要求耐磨耐腐蚀,平整,无缝隙,不易集聚静电的,易于清理等特点。
2、施工过程中采用现浇水磨石地面,石子直径应保持在6-15mm。且必须应该采用铜条分隔条分隔,绝对不能玻璃条。