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首先对过滤器进行检查：过滤器是净化工程的核心部分，负责对空气的净化，所以对过滤器的检查是十分必要的。实用扫描法对过滤器进行检查，要对其边框和断面进行捡漏。针对高效过滤器扫描法有两种，分别是检漏仪法和粒子计数器法。对于超高效过滤器，扫描法有凝结核计数器法和激光粒子计数器法两种。
下面简单介绍一下检漏仪检漏。
1、将净化工程系统运行，风速设置在设计风速的80-120%间。
2、如果有多台过滤器，每次只实用暴露一台过滤器。
3、在过滤器的正前方检测上风侧的浓度。
4、对于高效过滤器，当检漏仪表为对数刻度时，上风侧气溶胶浓度应超过仪表至小刻度的104倍。
其次对静压差进行检测：
1、将室内所有的门关闭时，从里面的房间依次向外测定。
2、对于洁净度高于100级的单向流(层流)无尘车间，还应测定在门开启状态下，离门口0.6m处的室内侧工作面高度的粒子数。
对风量和风速的检测：
1、风量风速检测必须首先进行，净化空调各项效果必须是在设计的风量风速条件下获得。
2、风量检测前必须检查风机运行是否正常，系统中各部件安装是否正确，有无障碍(如过滤器有无被堵、挡)，所有阀门应固定在一定的开启位置上，并且必须实际测量被测风口，风管尺寸。
（6）清洁洁净室的地面应使用专用拖把。
（7）在洁净室里吸尘应使用带有高效过滤器的专用真空吸尘器。
（8）所有的门都需要检查并擦干。
（9）吸完地以后再擦地。一周擦一次墙面。
FFU风机过滤单元FFU为英文缩写，全称为 Fan Filter Units, 中文意思为“风机滤器单元（机组）”，也称空气过滤单元。风机从FFU顶部将空气吸入并经初、高效过滤器过滤，它为不同尺寸大小，不同洁净度等级的洁净室、微环境提供高质量的洁净空气。各净化工程企业的FFU执行标准略有不同，业内通行的指标为：过滤后的洁净空气在整个出风面以0.45M/S±20%的风速匀速送出，但稳定性差距很大。经过实地检测，国际品牌普遍难以适应“中国环境因素”，质量虽然普遍高于国产公司，但1年后的稳定性测试普遍不理想；而大部分国内低端品牌的工程质量也较差强人意。
