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局部排气装置之是否良好、有效与气罩之型式及设置位置有关，而且对于透风系统在经济上及工程上更有着极大之影响。气罩离粉尘源愈远，集尘率愈差且排风量需求愈大。
如使用整体换气装置则需要大量之换气量，且一般粉尘、熏烟产生之速度及量较大，因此极易局部高浓度之情形，无法以此装置来予以控制。
对于玻璃基板尺寸大于1500mm×1850mm 的TFT-LCD厂房，且洁净生产区人员密度小于0.02人/m2，其疏散距离应按工艺需要确定，但不得大于120m。
1.3洁净厂房的洁净区各层外墙应设置专用消防口，并应符合下列规定：
1 洁净区各层专用消防口的设计，应符合现行国家标准《洁净厂房设计规范》GB 50073的有关规定；
2 洁净厂房外墙上的吊门、电控自动门以及装有栅栏的窗，均不应作为专用消防口。
