
在讲到清洁维护的重要性之前,我们先在认识一下洁净室中的四大污染来源:
1.洁净室中的工具设备在运转的过程中会向洁净室空间扩散粒子.
2.洁净室中的产品也会向洁净室空间扩散粒子.
3.洁净室中的设施,例如地面、墙面、天花板等,一刻不停地扩散着粒子.
4.洁净室中的人员是污染的主要来源,洁净室中的污染有80%都来自于人员散发的粒子.
我们知道,洁净室可以通过送风系统达到自净的目的,但是通过循环风系统只能去除一部分污染,仍会有大量的污染物在重力作用和布朗运动的作用下造成堆积。堆积在表面的污染物并不是静止不动的,污染物会通过表面直接或通过空气和人员等媒介间接地与产品发生“接触”,这种“接触”就会对产品造成污染,导致产品不良。 此时,对洁净室进行定期的清洁维护就显得非常有必要了。我们进行清洁维护的目的首先在于去除污染,已达到洁净室设计建造时预期的洁净度,但终还是为了保护我们的产品不受污染,提高产品的优率。因此,我们可以将洁净室清洁维护定义为:“从洁净室内或洁净区内重要性各不相同(对洁净度而言)的表面,释放出所有不希望的污染物,并把它们收集起来清除掉。”



排水系统应根据排出废水的性质、浓度及水量等进行设计,并应根据不同情况采取废水处理和综合利用措施,且排水主管不应穿过洁净度要求高的房间。

