洁净室的洁净度往往受到气流的影响，洁净室等级，换言之，即人、机器隔间、建筑结构等所产生的尘埃之移动、扩散受到气流的支配。

　　洁净室系利用HEPA、ULPA过滤空气，其尘埃的收集率达99.97~99.99995%之多，因此经过此过滤器过滤的空气可说十分干净。然而洁净室内除了人以外，尚有机器等之发尘源，这些发生的尘埃一旦扩散，即无法保持洁净空间，因此必须利用气流将发生的尘埃迅速排出室外。

　　风速的控制

　　洁净室内的气流是左右洁净室性能的重要因素，gmp洁净室，一般洁净室的气流速度是选0.25~0.5m/s之间，此气流速度属微风区域，易受人、机器等的动作而干扰趋于混乱、虽提高风速可抑制此一扰乱之影响而保持洁净度、但因风速的提高，将影响运转成本的增加，所以应在满足要求的洁净度水准之时，能以适当的风速供应，以达到适当的风速供应以达到经济性效果。

　　另一方面欲达到洁净室洁净度之稳定效果，均一气流之保持亦为一重要因素，均一气流若无法保持，表示风速有异，特别是在壁面，气流会延着壁面发生涡流作用，此时要实现高洁净度事实上很困难。

　　垂直层流式方向要保持均一气流必须：

   （a）吹出面的风速不可有速度上的差异；

   （b）地板回风板吸入面之风速不可有速度上的差异。速度过低或过高（0.2m/s，0.7m/s）均有涡流之现象发生，而0.5m/s之速度，气流则较均一，一般洁净室，其风速均取在0.25~0.5m/s之间。

　　影响因素

　　影响洁净室的气流因素很多，如制程设备、人员、洁净室组装材、照明器具等，同时对于生产设备上方气流的分流点，亦应列入考虑因素。

　　一般操作台或生产设备等表面的气流分流点，应设于洁净室空间与隔墙板间距2/3之处，如此可使作业人员工作时，气流可从制程区内部流向作业区，而将微尘带走；若分流点配置在制程区前方，将成为不当的气流分流，此时大部份的气流将流至制程区之后，作业员操作所引起的尘埃将被带到设备后面，工作台因而将受到污染，良率也势必降低。

　　洁净室内的工作桌等障碍物，在相接处均会有涡流现象发生，相对地在其附近之洁净度将会较差，在工作桌面钻上回风孔，将使涡流现象减少；组装材料之选择是否恰当、设备布局是否完善，亦为气流是否成为涡流现象之重要因素。

洁净空间单位体积空气中，以大于或等于被考虑粒径的粒子特大浓度限值进行划分的等级标准。

测试

一、洁净室的空气洁净度，应进行下列测试

(一)空态、静态测试

空态测试：洁净室已竣工，净化空气调节系统已处于正常运行状态，室内没有工艺设备和生产人员的情况下进行测试。

静态测试：洁净室净化空气调节系统已处于正常运行状态，工艺设备已安装，室内没有生产人员的情况下进行测试。

(二)动态测试洁净室已处于正常生产状态下进行测试。

洁净室的风量、风速、正压、温度、湿度、噪声的检测，可按一般通用、空气调节的有关规定执行。

二、空态、静态测试

(一)测试前的准备

1、应对洁净室及其净化空气调节系统进行彻底清洁。

2、采用光散射粒子计数器对高效空气过滤器进行检漏测试。首先测定高效空气过滤器的上风侧静压箱内(或风管内)粒径大于或等于0.5微米的尘粒数应为大于或等于30，000粒/升。如若不够，可引入烟雾，然后开始检漏。将粒子计数器(或检漏装置)的采样口距离高效空气过滤器2--3厘米处，可以2～4厘米/秒的速度移动，对高效空气过滤器整个断面封头胶处和安装框架处进行扫描。

当粒子计数器读数为空气口大于或等于0.5微米的尘粒超过3粒/分·升(或其穿透率大于0.01‰)即认为该处有明显渗漏，必须进行堵漏。

(二)测试内容

1、总送风量、总回风量、新鲜空气量、排风量等;

2、洁净室压力值;

3、层流洁净室断面风速和气流流向;

4、洁净工作区的洁净度;

5、室内温度、湿度及其控制能力的调整测试;

6、洁净室内噪声。

(三)洁净工作区空气洁净度的测试方法对于粒径大于或等于0.5微米的尘粒计数，宜采用光散射粒子计数法。对于粒径大于或等于5微米的尘粒计数。也可采用滤膜显微镜计数法。光散射粒子计数法：

1、光散射粒子计数器采样量100级：每次采样量大于或等于1升。l，000级-l0，000级：每次采样量大于或等于0.3升。100，000级：每次采样量大于或等于0.1升。对于100级洁净室，宜采用大流量粒子计数器进行测试;如果条件不具备时，可采用每次采样量不小于1升的粒子计数器。

2、采样注意事项：

(1)采样管必须干净，连接处严禁渗漏。

(2)采样管的长度，应根据仪器的允许长度。当无规定时，不宜大于1.5米。

(3)采样管口的流速，洁净室，宜与洁净室断面平均风速相接近。测试人员应在采样口的下风侧。

(4)采样顺序应按含尘浓度从低到高进行。

3、测点布置

(l)检测在洁净工作区内进行。当生产工艺无特殊要求时，洁净室，取样高度宜为离地面1米

(2)层流洁净室测点总数不小于20点，测点间距为0.5～2.0米，粒径大于或等于0.5微米的尘粒数允许有一个点超过。水平层流洁净室测点仅布置在首要洁净工作区内。

(3)乱流洁净室可按洁净面积小于或等于50平方米布置5个测点(附图2)。每增加20-50平方米，增加3--5个测点。